에너지분산형 X-ray 형광분석기(EDXRF) (X-ray Fluorescence Spectrometer(ED))
원리 및 특징
- 시료에 X선을 조사해 2차적으로 발생하는 X선(형광 X선)을
이용하여 C에서 Am까지의 전 원소를 수십 %에서 ppm까지
넓은 범위에 걸쳐 정성·정량 분석
- 입사된 X-선이 K Shell의 전자와 충돌하여 그 전자를 궤도에 서 밀쳐내게 되면 해당 궤도의 전자는 비어 있게 된다.
비어있는 K Shell로 외각의 전자가 이동하면서 K Shell과 외각 의 에너지 차이에 해당하는 형광 X-선이 발생한다.
이는 각 원소마다 고유한 값을 가지고 있기 때문에 원소를 정 성적으로 알아내고 그 세기를 측정하여 정량적인 분석을 한다.
주요구성 및 성능
- Elemental range : C-Am
- Resolution : 135eV
- LLD : 1 ppm ? 100%
- Technology : Energy Dispersive X-ray Fluorescence
이용분야
- Elemental analysis
- Contaminant detection and analysis
- Elemental quantification