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고분해능 전계방사 주사전자 현미경 (High Resolution Field Emission Scanning Electron Microscope)
예약현황 분석의뢰신청
7900F 사진
모델명 및 규격 : JSM-7900F /
제작회사 및 국가 : Jeol / 일본
설치장소 : [B01호] 주사전자현미경실 (FE-SEM, SEM, LV-SEM)
이용수가 :
기본이용료 - 120,000원
담당자 : 성창훈 ( sch@cwnu.ac.kr )
TEL. 055-213-2555
원리 및 특징
주사 전자 현미경은전자선 Electron Beam을 시료의 표면에 주사하여 발생하는 이차전자, 후방산란전자, X선 등을 검츨, 수집하여 그 신호들을 형상화시키는 전자현미경이다
특히 고분해능 전계방사현 주사전자 현미경의 경우 일반적인 전계방사형 주사전자현미경(FE-SEM)과는 다른 Super Hybrid Lens구조를 가지고 있어 전계를 혼성함으로써 더욱더 저가속전압 (3kV이하)에서 고배율의 Image를 쉽게 관찰할 수 있는 전자현미경이다. 
주요구성 및 성능
1) Image Resolution : 0.9nm at 15kV ,1.4nm at 1kV ,1.0nm at 0.5kV 
2) Magnification :x25 to x1,000,000 or more
Automatic mag. correction : Available
3) Image types :Secondary electron image, Backscattered electron image
                        SE and BSE mixed image (by filtering system)
4) Accelerating Voltage :0.05 to 30kV(SEM Mode) 
5) Probe current :1pA to 4 x 100nA 
2. Electron Optical System
1) Lens control method :New electron optical control mechanism.
2) Electron Gun
Type :In lens Schottky Plus Field Emission-Gun
Emitter :ZrO/W cathode
Axis alignment :Mechanical and electromagnetic deflection
EOS mode :SEM/LDF/GB/GBSH-S or more 
Condenser lens (C.L) : Electromagnetic 2-stage lens
Aperture angle control lens (ACL) : Electromagnetic lens
Objective lens (O.L) :  Hybrid strong-excitation conical objective lens(Super Hybrid Lens)
Scanning coil :Electromagnetic 2-stage deflection
Scan Rotation :Available, with image rotation correction for WD in each EOS mode.
Image Fine Shift :Diagonal distance 180±30㎛(SEM mode, Acce. Voltage 10kV, WD 15mm)
이용분야
1. 재료, 반도체, 섬유 및 고분자 물질 등 광범위 시료의 미세구조 관찰 및 성분 분석
2. 생물과 금속, 재료 등 미세입자(powder)의 표면 미세구조 및 형상 관찰
3. 반도체 등의 박막 두께 측정
특성화분야
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