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전계방사형 주사전자현미경(FE-SEM) (Field Emission Scanning Electron Microscope)
예약현황 분석의뢰신청
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모델명 및 규격 : CZ/MIRA I LMH / H.S. Code : 9012.10.1000
제작회사 및 국가 : TESCAN / 체코
설치장소 : [B01호] 주사전자현미경실 (FE-SEM, SEM, LV-SEM)
이용수가 :
SEM(/시간) - 50,000원
SEM&EDS(/시간) - 70,000원
SEM&EBSD(/시간) - 80,000원
SEM&WDS(/시간) - 80,000원
EBSD(/map) - 5,000원
EDS(/point), Image(/장) - 4,000원
전도성코팅(/회) - 10,000원
시료(/갯수):교외만 적용 - 10,000원
담당자 : 성창훈 ( sch@cwnu.ac.kr )
TEL. 055-213-2555
원리 및 특징
1. 주사전자현미경은 전자선 Electron Beam을 시료의 표면에 주사하여 전자선이 한 곳에 집중되면 1차 전자만 굴절되고 표면에서 발생된 이차전자와  반사전자를 수집하여 그 신호들을 형상화시키는 전자현미경임
2. 이차전자와 후방산란전자의 강도를 영상화시켜  미시영역 관찰이 가능하게 한 대표적인 표면 분석 장비
주요구성 및 성능
1. Resolution
- SEI Resolution : < 1.5 nm at High Vacuum Mode SEI
- BEI Resolution : < 2.5nm at High Vacuum Mode BEI
2. Magnification at 30kV
- x12 ~ x900,000 ( Continueously x1 steps at any magnification )
3. Min. Magnification
- Fish Eye Mode for less than x4 observation
4. Accelerating voltage
- 500 V to 30kV  
5. Electron Gun
- High Brightness Thermal Schottky Emitter
6. Probe Current
- 2 pA to 20nA  
7. Stigmator Type
- Eight pole electromagnetic
- Automatic Stigmation Control as Standard
8. Dynamic focus/Tilt Correct
- Tilt corrention from 0 to 85 deg correctable
9. Focus Wobble
- To assist the operator to optimize the aperture position with adjustable amplitude and speed.
10. Beam Shift
- Range : + . - 50㎛ 
11. Special Image Observation Mode
- Resoultion, Field, Depth, Fish-Eye, Rocking Mode
- Resolution Mode : Provides the highest resolution for the chosen working conditions.
- Field mode : allows an extra large field of view
- Depth mode : Provides enhanced depth of focus.
- Fish - Eye mode : Provides a "macro" view of the sample.
12. 4 Lens(CL1/CL2/IML/OL) Wide Field Optics with Intermediate Lens
이용분야
1. 속, 재료, 반도체, 섬유 및 고분자 물질 등 광범위 시료의 미세구조 관찰 및 성분 분석
2. 생물과 금속, 재료 등 미세입자(powder)의 표면 미세구조 및 형상 관찰
3. 동,식물 세포의 미세구조 관찰
4. 반도체 등의 박막 두께 측정
특성화분야
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