고분해능 X-선 회절분석기(HR/XRR/RMS/Stress/Texture) (High Resolution X-ray Diffractometer System)
원리 및 특징
X-선 회절분석기는 고전압으로 하전된 전자가 타겟에 충돌할 때 발생하는 단색 X-선을 시료에 조사하여 이때 발생되는 회절빔을 검출하고, 회절빔의 각도를 해석하여 결정구조를 분석하는 장비
주요구성 및 성능
Cu target, 40kV, 30mA, 5axis stage, Scintillation Counter, vantec detector, Parabolic Multilayer Mirror Attachment for high intensity, Asymmetric Channel-cut Monochromator
이용분야
- 반도체, 박막, 금속 등의 방향성 재료 등의 전반에 걸쳐 이용가능
- 반도체 소재 및 박막의 결정구조 및 방향성, 두께, 밀도, 표면거칠기, 결정의 mismatch, 역격자 맵 등의 분석가능하며, 일방향 성장한 시료의 배향성 및 결정구조를 분석할 수 있는 기기생물학, 유전공학, 고분자공학, 화학공학, 금속공학, 지질학등 다양한 분야에 걸쳐 이용