X-ray 도금두께 측정기 (Fluorescent X-ray Coating Thickness Gauge)
원리 및 특징
1. X-ray 원리를 이용하여 각종 Sample의 도금 두께를 측정하는 장비
2. 1차 X-ray를 도금이 된 Sample에 조사하면 형광 X-Ray가 발생하여 이를 검출기를 통해 각각 시편의 Layer 별로 두께를 측정하는 계측 기기
주요구성 및 성능
1. X선 관
- Micro focus 텅스텐 target 베릴리움 windows 사용
- 45kV, 1mA 가변형 X선관 전압
2. 분석 장치
- 2048 channel MCA(Multi-channel Analyzer)
이용분야
1. 반도체 및 전자 제품의 Single 및 Multi layer(max. 4 layer) 도금 층 측정
2. 귀금속 도금 제품의 두께 측정