원자힘현미경(AFM) (Atomic Force Microscope)
원리 및 특징
-. 대기중에서 극초정밀 분해능으로 시료표면 관찰
-. 원자 수준의 분해능으로 3차원 입체구조 분석
주요구성 및 성능
- XY scanner : 50um * 50um
- Z scanner : 12um
- Resolution : 0.15nm
이용분야
- Contact AFM, Non Contact AFM
- Phase image, Heating control(~250℃)
- MFM, EFM, LFM, FMM, I-AFM 등