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저전압주사전자현미경(LV-SEM) (Low voltage scanning electron microscope)
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저전압주사전자현미경
모델명 및 규격 : Merlin compact / 0.8nm @ 15kV, 1.6nm @ 1kV
제작회사 및 국가 : 칼자이스 / 독일
설치장소 : [B01호] 주사전자현미경실 (FE-SEM, SEM, LV-SEM)
이용수가 :
SEM(/시간) - 70,000원
SEM&EDS(/시간) - 90,000원
SEM/EBSD(/시간) - 100,000원
EBSD(/map) - 5,000원
EDS(/point),image(/장) - 4,000원
전도성코팅(/회) - 10,000원
시료(/갯수):교외만 적용 - 10,000원
담당자 : 성창훈 ( sch@cwnu.ac.kr )
TEL. 055-213-2555
원리 및 특징
저전압 전계 방사형 주사 전자현미경(FE-SEM)은 일반 광학 현미경으로는 관측이 어려운 물질의 미세영역을 고분해, 고배율로 확대하여 표면구조 및 형태를 확인할 수 있어서 모든 과학 분야의 재료 및 제품에 대한 연구 개발과 품질 관리 향상에 필수적인 기기이다.
전자총에서 방출된 전자빔을 집속시켜 시료 표면의 관찰영역을 주사하고 이 때 시료 표면에서 발생되는 여러 전자형태를 각종 검출기로 감지하여, 브라운관의 밝기로 변조시켜, 시료의 표면 형태 및 조성에 대한 각각의 영상을 얻어 출력할 수 있다. 
주요구성 및 성능
1) 분해능: 0.8nm @ 15kV, 1.6nm @ 1kV
2) 가속전압 범위 : 0.02kV ~ 30kV 
3) EDS 검출기 윈도우 사이즈: 80mm 
이용분야
고분자, 금속 및 세라믹 시료의 표면 분석
특성화분야
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